酞菁铅薄膜气体传感器的研制及其特性研究

摘要

采用MEMS技术研制了一种以材料硅为基底,具有立体结构的酞菁铅(PbPc)薄膜气体传感器。阐述了该传感器的工作原理、结构设计及工艺流程,给出了酞菁铅薄膜的制备方法,并对PbPc薄膜气体传感器进行了敏感特性研究。