TiO<,2>-Nb<,2>O<,5>薄膜型空燃比传感器的研制

摘要

用离子束增强沉积技术（ＩＢＥＤ）制备Ｎｂ＜，２＞Ｏ＜，５＞氧敏薄膜，并同现场掺杂０．１％Ｐｔ和５％ＴｉＯ＜，２＞（摩尔比）。