硅/锗/硅键合新技术的研究

摘要

该文分析了研究了亲水键合法存在的问题，发明了硅／锗／硅合新方法。试验研究了新方法的机理、键合工艺技术和键合强度，键合率以及与亲水键合方法的对比。