可控等离子加速蒸发弧源沉积CoCrAlY合金涂层研究

摘要

根据华奥--萨我尔定律设计磁感应强度B≥5000GS的可控等离子加速蒸发器（弧源），圆管状蒸发器端面排列组合2组滑动线图，弧束集中性好，等离子束流沉积速率大为提高，沉积CoCrAlY合金涂层厚度≥0.03mm，根据实际应用要求，可以沉积0.1mm左右的CoCrAlY合金涂层。