牵引分子泵抽气通道几何参数优化设计方法的研究

摘要

随着涡轮分子泵抽气特性理论的不断发展和完善，对于复合分子泵中牵引分子泵抽气理论的研究显得更为重要，而目前对牵引分子泵的研究相对较少。