ECR等离子体源中磁场梯度的影响

摘要

用混合模型在二维位形空间和三维速度空间对电子回旋共振等离子体源中的粒子运动进行数值模拟，并着重研究磁场梯度在电子回旋共振等离了体源中所起的作用。结果显示磁场梯度增加时，电子温度、等离子体密度和离化率降低，而等离子体势和离子的能量增加。模拟中观测到一个θ方向不为零的平均速度，这是由于Ｅ×Ｂ和△ｎ〈，１〉×Ｂ漂移所引起的。