纳米硅颗粒膜的制备及其光致发光特性的研究

摘要

用基于激光烧蚀的沉积方法制备了纳米硅颗粒膜。烧蚀靶材为单晶硅，氩气用作环境气体。颗粒的形状和尺寸用透射电镜观察，得到的颗粒大小为纳米量级，纳米硅颗粒膜具有较强的可见波段的光致发光能力，光发射的强度和光谱分布还与温度有关。