激光等离子体气相合成纳米SiC陶瓷粉末

摘要

用TEA(Transversely-excited Atmosphere-pressure)CO<,2>激光辐射SiH<,4>-Ar-CH<,4>，SiH<,4>-Ar-C<,2>H<,4>，SiH<,4>-Ar-C<,2>H<,6>，SiH<,4>-Ar-C<,3>H<,6>等源反应气体，产生等离子体合成出纳米级的陶瓷粉末SiC。颗粒大小约为几十纳米，呈球形，不团聚或轻微链状团聚，且粒度分布均匀。利用多种仪器检测了粉末的物理化学性质，研究了合成参量的变化对粉末产率及物理化学性质的影响，得到了最佳工艺条件。还对反应成核及生长过程进行了讨论。