谐振梁式压力微传感器边界结构优化

摘要

该文主要对一种谐振式压力微传感器敏感结构的边界结构进行优化设计。所讨论的敏感结构中以方形硅膜片作为一次敏感元件，直接感受被测压力。在膜片的上表面制作浅槽和硅梁，并真空封装；以硅梁作为二次敏感元件，间接感受被测压力。为减少敏感结构内外能量耦合，提高振子的Q值，敏感结构需选择，设计合适的边界结构。文中采用有限元仿真分析的方法，以减少敏感结构内外能量耦合为主要优化目标，优化敏感边界结构。