ＬＣ１３强流氧离子注入机高电位参数的监控

摘要

主要介绍ＬＣ１３强流氧离子注入同高电位参数监测和控制的要求，原理。并通过其监测、控制方式的分析，提出了提高稳定度，减小纹波系数及抗干扰等方面的方法。