表面有效态密度及其在MOS结构建模中的应用

摘要

该文从载流子在ＭＯＳＳ结构反型层内的分布特性出发，提出了表面有效态度（ＳＬＥＤＯＳ：Ｓｕｒｆａｃｅ Ｌａｙｅｒ Ｅｆｆｅｃｔｉｖｅ Ｄｅｎｓｉｔｙ－ｏｆ－Ｓｔａｔｅｓ）的概念。利用表面有效态密度的概念建立了经典理论框架和量子力学框架内的电荷分布模型。模型引入了一种高效的迭代方法，具有较高的计算效率和很强的稳定性。在模型基础上，研究量子比效应对反应型层载流子浓度和表面电势的影响。进而ＳＬＥＤＯＳ的概念建立了一个开启电压量子化效应的修正模型。