集成电咱金属化可靠性评价技术

摘要

该文采用了标准的集成电路化可靠性评价试验方法对集成电路金属布线的抗电迁移能力进行了可靠性评价试验，并预计了工作应务条件下电迁移寿命。该试验方法通用、简便、可靠，是标准的集成电路工艺线金属化可靠性评价和保证的重要方法。