在线检测超精细表面微观形貌的激光轮廓仪

摘要

该文介绍一种可用于在线和在位检测的高分辨率激光轮廓仪。此仪器具有很高的共模抑制比和同类型仪器中最小的形状误差。分辨力优于0.2纳米(Ra)。可以摆放在金刚石车床的刀架上测量超精密加工表面微观形貌。