超精密加工表面微观形貌非接触在线检测系统

摘要

介绍了专门应用于超精密车床在线检测加工表面微观形貌的检测系统.一种新式高分辨率同轴式激光轮廓仪与超精密车床的有机结合,突破了传统的必须卸下工件才能对其进行检测的限制,实现了加工与检测的一体化,达到了检测真正服务于加工的目的.介绍了激光轮廓仪的原理、结构以及检测系统的工作原理.实验结果表明,在利用超精密车床精密气浮导轨作为激光轮廓仪工作台的条件下,测量车削加工表面微观形貌时,在高度方向上的分辨率按国际惯用的均方值表示已优于0.1nm.