VGF炉中GaAs结晶表面平衡温度的计算

摘要

该文建立了VGF结晶炉的辐射换热模型，利用有限差分法对变温条件下砷化镓晶体表面的辐射换热进行了数值求解，得出晶体表面的平衡温度的变化曲线。