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VGF结晶法中砷化镓表面平衡温度的计算

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摘要

根据VGF结晶技术的特点,建立了结晶炉内的辐射换热模型,并利用有限差分法对变温条件下砷化镓晶体表面的辐射换热进行了数值求解. 模拟结果得出了晶体表面平衡温度的变化规律,与设定值比较具有良好的一致性. 所得结果确定了晶体生长过程数值模拟的热边界条件,并对实际的温度控制提供了重要的理论依据.

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来源
《上海理工大学学报》 |2001年第3期|279-282|共4页
作者
魏东; 马一太; 李贵全; 王占龙;
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作者单位

天津大学热能研究所;

天津大学热能研究所;

信息产业部电子第四十六研究所;

信息产业部电子第四十六研究所;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类晶体生长;传热学;
关键词
VGF; 砷化镓(GaAs); 平衡温度; 辐射换热;

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