PZT厚膜工艺在射频天线中运用

摘要

锆钛酸铅(PZT)作为一种性能优良的铁电材料，在许多领域中都得到应用。该文提出一种制备100μm～150μmPZT厚膜的工艺方法，并且在此基础上提出了一种工作于800M～4GHz的基于厚膜工艺的新型射频(RF)天线设计。在制备PZT厚膜中，设计采用了厚膜集成电路中常用的丝网印刷工艺，为了控制天线的频段和损耗，采用了平面光子带(UC-PBG)结构。该设计提出的射频天线具有优良的特性，尺寸比常规同频段的天线小一个数量级，可望在新一代移动通讯领域得到重要应用。