宽带微波MEMS开关

摘要

该文论述了微波MEMS开关的设计和制造工艺。开关为一薄金属膜桥组成的桥式结构，形成一个SPST并联设置的金属－绝缘全－金属接触。开关通过上下电极之间的静电力进行控制，其插入捐耗及隔离性能取决于开态和关态的电容。微波MEMS开关在“开”态下1-14GHz带宽测试的插入损耗小于0.72dB，在18-20GHz时小于1.18dB；在“关”态下在14-18GHz时隔离大于13dB，在18-20GHz时隔离大于16dB。