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扫描隧道显微镜在Si表面纳米结构加工的研究

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本文论述了利用扫描隧道显微镜(STM)的阳极氧化原理,在Si表面加工形成氧化线的过程,讨论了氧化电压,扫描频率和环境湿度对氧化的影响,并且对加工纳米结构器件作发初步探讨.

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来源
《第四届全国微米/纳米技术学术会议》|2000年|380-382|共3页
会议地点上海
作者
程子川; 蒋建飞; 蔡琪玉;
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作者单位

上海交通大学;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类特种结构材料;
关键词
扫描隧道显微镜; 阳极氧化; STM; 纳米结构器件; 扫描频率;

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