基于声表面波技术的微传感器

摘要

本文在阐述了微米、纳米技术与微传感器的密切关系,简要介绍了声表面波技术的发展历程和特性.详细阐述了声表面波传感器两种基本模式——延迟线型和谐振型的工作原理.介绍了声表面波传感器的实际制作及其在测量中的应用,包括声表面波器件在目标识别系统中应用的可行性.