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YBCO/LAO/YBCO三层薄膜的外延生长

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摘要

采用标准脉冲激光淀积法,实验研究了LaAlO<,3>(LAO)外延薄膜的生长制备技术,在SrTiO<,3>(STO)单晶衬底上制备了YBCO/LAO/YBCO三层结构.本文报告了这种多层薄膜制备的初步实验结果并讨论了其可能的应用.

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来源
《第六届全国超导电子器件学术会议》|2001年|36-38|共3页
会议地点贵阳
作者
聂瑞娟; 马平; 刘乐园; 王永忠; 王守证; 戴远东;
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作者单位

中国电子学会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类薄膜的生长、结构和外延;
关键词
超导薄膜; 外延生长; 脉冲激光沉积法; 三层结构;

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