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等离子体法合成金属和陶瓷纳米材料

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本文就纳米材料合成工艺如高频等离子体法合成Si<,3>N<,4>和SiC纳米陶瓷以及合成机理和合成的纳米材料的特性方面的研究作简单介绍.

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来源
《全国第二届纳米材料和技术应用会议》|2001年|C50-C53|共4页
会议地点杭州
作者

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作者单位

中国材料研究会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类特种结构材料;
关键词
等离子体法; 纳米材料; Si,3N,4; SiC; 纳米陶瓷;

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