纳米TiO<,2>薄膜在电子束照射下的晶型转变

摘要

本研究以钛酸丁脂(Ti(C<,4>H<,9>O)<,4>)为前驱物，以乙酰丙酮（C<,5>H<,8>O<,2>,AcAcH)和甲醇分别作为稳定剂和溶剂配成溶胶，在普通载玻片上采用浸涂法制备溶胶薄膜，经400°C热处理40min即得到纳米半导体TiO<,2>薄膜试样.对试样TEM分析,发现这种TiO<,2>薄膜由晶粒为20nm左右的微晶和非晶区组成,晶粒主要是金红石和锐钛矿混合相.电子束照射促使金红石相向锐钛相转变并出现具有单晶特征的衍射花样.