燃烧化学沉积制备纳米陶瓷薄膜

摘要

本文提出了沉积纳米陶瓷薄膜的一种新方法——燃烧化学沉积法.该方法省去了真空软件,直接在空气中沉积纳米陶瓷薄膜.其主要特别是将配制好的初始液体雾化,让该液雾穿过高温火焰流体.初始液体在火焰流中发生化学反应,并形成反应火焰流,该反应火焰流体系在火焰流的前方基体上沉积出纳米陶瓷薄膜.本文以制备α-Al<,2>O<,3>纳米薄膜为例,介绍用该方法的制备过程和机理以及工艺特点,介绍了在制备过程中枝晶出现的规律以及如何防止枝晶出现.用SEM和TEM分析了α-Al<,2>O<,3>纳米薄膜的显微形貌和结构.