蒙特卡罗方法模拟肖特基效应

摘要

本文研究了肖特基效应对金属半导体接触的影响.通过采用自洽的蒙特卡罗方法,模拟了引入肖特基效应后,SBD的垫垒降低量和工作特性,验证了模拟使用的物理模型.得到了与理论计算值符合的模拟结果.分析模拟结果表明,由于肖特基效应形成的金属半导体接触势垒的降低,会在很大程度上影响金属半导体接触的输运特性.