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RF MEMS器件的发展现状

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RF MEMS器件是MEMS技术的重要发展方向之一,本文介绍了RF MEMS器件的发展动态及其关键技术和市场发展趋势,并提出了发展RF MEMS器件的几点考虑.

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来源
《第五届全国微米/纳米技术学术会议》|2001年|44-47|共4页
会议地点重庆
作者
徐世六;
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作者单位

国家自然科学基金委员会;

科技部;

解放军总装备部;

清华大学;

重庆大学;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类微波元件、微波铁氧体元件;制造工艺;
关键词
MEMS; 射频器件; 无源元件; 微机械电子系统; 电感器; MEMS滤波器/谐振器;
入库时间 2022-08-17 10:21:39

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