CVD金刚石膜的光整加工

摘要

本文提出了使用电蚀加工CVD金刚石膜新方法,该方法利用加工产生的热能及表面涂覆金属的热扩散作用对金刚石进行局部碳固溶融蚀,实现金刚石膜的高效光整加工.

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