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原子力显微镜金刚石针尖在微加工中的磨损研究

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本文研究当原子力显微镜微加工单晶硅的金刚石针尖的磨损机制以及对微加工过程的影响规律.

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来源
《第十一届全国磨削技术学术会议》|2001年|114|共1页
会议地点泉州
作者
赵清亮; 董申; 孙涛;
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作者单位

中国机械工程学会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类 TG580.619;
关键词
原子力显微镜; 金刚石针尖; 单晶硅; 微加工; 化学磨损;

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