溶胶—凝胶法制备SrBi2Ta2O9(SBT)铁电薄膜的研究

摘要

以乙醇钽、醋酸锶和硝酸氧铋为原材料,乙二醇单甲醚为溶剂,可以获得稳定的SBT溶胶和凝胶.采用Pt/Ti/SiO<,2>/Si基片,通过溶胶-凝胶法在800℃经快速热处理制备出钙钛矿相SBT薄膜.XRD结果分析表明,薄膜的择优取向为(115)和(008),其饱和极化强度和剩余极化强茺分别为Ps=8.8μC/cm<'2>,Pr=5.2μC/cm<'2>.