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ICP-MS在超净高纯试剂分析中的应用

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电子微细加工技术用超净高纯试剂的品种现已超过30种.本文仅以酸类(盐酸、硫酸、硝酸、氢氟酸)为例,来介绍了ICP-MS在超净高纯试剂分析中的应用.

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来源
《中国感光学会第六届青年学术交流会》|2002年|104-108|共5页
会议地点北京
作者
孟蓉; 郑春丽;
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作者单位

中国感光学会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类 TQ421.23;TQ420.71;
关键词
高纯试剂; 化学分析; 测试方法; 电感耦合等离子体—质谱法;

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