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微小尺寸检测图象处理系统的研究

摘要

本文提出了用图象处理与分析的方法,对微小尺寸进行测量,阐明了用该方法的基本原理.同时提出了使用该方法的硬件组成,软件流程,并论证了使用该方法的高效,准确,实用的优点.

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