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压力传感器用NiCr纳米薄膜

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采用离子束溅射纳米薄膜技术和半导体微细加工技术,将纳米薄膜应变电阻直接制作在金属弹性体上,实现了敏感元件与弹性体的原子结合,有效地解决了传统压力传感器中"零点漂移"技术难题,真正实现了在高温、振动等恶劣环境下的长期稳定性和可靠性.

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来源
《第二届全国纳米技术与应用学术会议》|2002年|91-93|共3页
会议地点宁波
作者
彭银桥; 周继承; 龙思锐; 周宏广;
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作者单位

中国电子学会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类特种结构材料;
关键词
纳米薄膜; 离子束溅射; 压力传感器; 稳定性; 镍铬合金;

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