公开/公告号CN105960581A
专利类型发明专利
公开/公告日2016-09-21
原文格式PDF
申请/专利权人 国立研究开发法人科学技术振兴机构;
申请/专利号CN201580007199.3
申请日2015-02-05
分类号G01L1/20(20060101);
代理机构11021 中科专利商标代理有限责任公司;
代理人葛凡
地址 日本埼玉县
入库时间 2023-06-19 00:32:58
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2016-10-19
实质审查的生效 IPC(主分类):G01L1/20 申请日:20150205
实质审查的生效
2016-09-21
公开
公开
机译: 压力传感器用片,压力传感器以及压力传感器用片的制造方法
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