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原创性声明及关于学位论文使用授权说明
第一章前言
第二章薄膜制备与检测分析
第三章薄膜的成分、沉积速率、形貌及致密度研究
第四章薄膜的绝缘耐压性能研究
第五章结论
参考文献
致谢
攻读学位期间的主要成果
金桂;
中南大学;
射频磁控溅射技术; 压力传感器; 氧化硅薄膜; 绝缘耐压性; 电击穿强度; 绝缘电阻;
机译:电离物理气相沉积法制备氧化硅薄膜及其在透明薄膜晶体管栅绝缘子中的应用
机译:硅等离子体氮化制备的氮氧化硅薄膜及其在隧道金属-绝缘体-硅二极管中的应用
机译:用于直流电力传输的混合直流断路器气体断开接头耐压绝缘性能的耐压绝缘性能
机译:硅化物和器件结构对有源矩阵液晶显示器用多晶硅薄膜晶体管的特性和电路性能的影响。
机译:基于氧化铝陶瓷的可插入式被动式LC压力传感器用于高温环境中的原位压力传感
机译:RF磁控溅射制备的氧氧化硅薄膜性能研究
机译:siO2上区域熔化 - 再结晶多晶硅薄膜制备的绝缘硅绝缘体。
机译:用于形成二氧化硅薄膜的冲洗溶液,使用相同的方法生产二氧化硅前体薄膜和二氧化硅薄膜的方法以及使用它们制备的二氧化硅薄膜前体和二氧化硅薄膜
机译:含钨的介孔二氧化硅薄膜,含有该介孔二氧化硅的高亲水性材料以及制备含钨的介孔二氧化硅薄膜的方法
机译:具有压力传感器的可植入医疗设备,该压力传感器用于诊断所植入医疗设备的性能
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