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多孔硅技术在硅基微型燃料电池中的应用

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摘要

多孔硅作为一种新型材料,利用其疏松多孔的特性及与IC加工的兼容性,将其用于硅微质子交换膜燃料电池的研究中,作为其电极扩散层.对多孔硅膜的性能、制备工艺及多孔硅膜表面金属淀积工艺进行了研究,提出一套基于MEMS加工技术和薄膜淀积技术的制作硅微质子交换膜燃料电池的工艺.

著录项

来源
《第二届全国纳米技术与应用学术会议》|2002年|198-201|共4页
会议地点宁波
作者
王晓红; 谢克文; 周俊; 刘理天;
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作者单位

中国电子学会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类燃料电池;
关键词
微型质子交换膜燃料电池; 多孔硅; 电极扩散层; 薄膜淀积技术;

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