首页> 中文会议>第二届表面工程技术产业化学术交流会 >离子束辅助沉积(Ti,Al)N硬质涂层

离子束辅助沉积(Ti,Al)N硬质涂层

页面导航

摘要
著录项
相似文献
相关主题

摘要

离子束辅助沉积(IBAD)结合了PVD,沉积效率提高,改善了涂层和基体界面间的结合力,改进了离子注入深度浅的缺点,IBAD沉积过程中,会出现离子注入过程中粒子、沉积原子碰撞及溅射等物理现象以及沉积原子和离子化学反应等现象.本文研究的目的是寻找最佳工艺参数,以得到最佳涂层硬度和表面光洁度增加涂层的摩擦学性能.

著录项

来源
《第二届表面工程技术产业化学术交流会》|2002年|169-173|共5页
会议地点太原
作者
李曙光; 高桥康夫;
展开▼
作者单位

中国机械工程学会;

展开▼
会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类金属复层保护;
关键词
离子束辅助沉积; 硬质涂层; 工艺参数; 金属表面处理;

相似文献

中文文献
外文文献
专利

1. 低转速下多弧离子镀制备的Mo-Ti-Al-N超晶格硬质涂层的微结构及背散射谱分析 [J] . 王泽松 ,梁枫 ,项燕雄 . 表面技术 . 2019,第4期
2. Ti50Al50N硬质涂层的热稳定性及力学性能研究 [J] . 曹冬冬 ,李兆君 ,韩志浩 . 沈阳理工大学学报 . 2011,第004期
3. (Ti_(1-x)Al_x)N硬质涂层的研究进展 [J] . 张飞 ,闫鹏勋 ,陈江涛 . 人工晶体学报 . 2007,第3期
4. Ti6Al4V表面离子束辅助沉积DLC薄膜及其摩擦学性能研究 [J] . 白秀琴 ,李健 ,严新平 . 材料保护 . 2004,第07B期
5. 用离子束辅助沉积合成（Ti,Al）N薄膜 [J] . 凡丁 . 等离子体应用技术快报 . 1997,第003期
6. Ti-Al-N系PVD硬质涂层的研究动态 [C] . 杜日昇 ,苏东艺 ,肖新生 . 广东省真空学会2010年年会暨广东省真空与低碳技术交流会 . 2010
7. 合金化对阴极弧蒸发沉积TI-AL-N和CR-AL-N硬质涂层的微观结构及性能的影响 [A] . 杨兵 . 2014

离子束辅助沉积(Ti,Al)N硬质涂层

摘要

著录项

相似文献

相关主题

期刊订阅