一种Cr/CrN/(Ti,Al,Si,Cr)N复合硬质涂层及其制备方法

摘要

本发明公开的Cr/CrN/(Ti,Al,Si,Cr)N复合硬质涂层的制备方法包括预处理、加热、等离子体清洗、制备Cr粘附层、制备CrN过渡层和制备(Ti,Al,Si,Cr)N耐磨层等步骤。由于本发明提供的制备方法中采用了等离子增强中频反应磁控溅射技术，因而大幅度提高了靶材的离化率，使制备的复合硬质涂层的表面纳米硬度可达到34GPa以上，膜基结合力等级为德国标准VDI3198的HF1-HF2，因此特别适合制作用于高速干式切削不锈钢、铁基高温合金、高强结构钢和耐磨铸钢刀具的涂层，且涂层工艺简单，更适合于工业化生产。