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低成本衬底上多晶硅薄膜电池的探索

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本文报道了低成本颗粒硅带衬底(SSP)的性质和采用化学汽相(RTCVD)在颗粒硅带衬底上制备的多晶硅薄膜的工艺条件及薄膜的特性;同时给出通过扩散工艺制成的多晶硅薄膜太阳电池的转换效率分别为6.36﹪(高弛硅粉制成的SSP衬底)和4.5﹪(低纯硅粉制成的SSP衬底).

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来源
《第八届全国固体薄膜学术会议》|2002年|12-15|共4页
会议地点长春
作者
许颖; 励旭东; 于元; 曹耀辉; 张华; 赵玉文;
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作者单位

中国电子学会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类 TM914.41;TN304.055;
关键词
颗粒硅带; 薄膜; 太阳电池; 多晶硅薄膜工艺; 外延生长;

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1. 低成本衬底上多晶硅薄膜电池的探索 [J] . 许颖 ,励旭东 ,王文静 . 发光学报 . 2003 ,第003期
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