Phosphoras Gettering on Multicrystalline Si by Metallurgy Method and Exploration of its Low-cost MIS Solar Cells

摘要

化石能源的快速枯竭，人们越来越认识到发展可再生能源的重要性和迫切性。太阳电池得到了广泛的关注。但光伏产业在我国现状：有产业，没市场。其原因是原材料成本高，工艺要求高。因此探索低成本、新材料、新工艺的太阳电池非常有意义。 本文主要是研究了物理冶金法的磷吸杂工艺优化以及以冶金法多晶硅为衬底探讨了MIS（金属-绝缘体-半导体）太阳电池的制备，得到如下成果： （1）详细研究了冶金法多晶硅磷吸杂的温度与时间的关系，发现在950℃、4h吸杂、双面腐蚀去除10~15μm吸杂层后，硅片的少子寿命提高的最多。同时把去除吸杂层的过程与制备绒面结合起来，采用腐蚀液为HF：HNO3=1:3，淀积氮化硅薄膜后，测量...