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非正态分布工艺参数情况的工序能力指数分析

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摘要

对工艺参数为非正态分布的工序,如果采用常规方法计算其工序能力指数,评价生产工艺水平,将可能导致错误的结论.采用本文提出的方法和开发的软件,可以分析计算非正态分布工艺参数的工序能力指数和PPM水平下的工艺不合格品率.

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来源
《中国电子学会可靠性分会第十一届学术年会》|2002年|315-319|共5页
会议地点银川
作者
贾新章; 蒲建斌; 宋军建;
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作者单位

中国电子学会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类可靠性及例行试验;制造工艺;
关键词
工序能力指数; 成品率; 正态分布; 非正态分布; 微电子器件; 等效工序能力指数; 工艺参数;

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