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氮分压对CrN<,x>薄膜相结构与力学性能的影响

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本文研究了氮分压对CrN<,x>薄膜相结构与力学性能的影响.结果表明CrN<,x>薄膜中的相结构随N<,2>分压连续变化.

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来源
《第十二届全国电子显微学会议》|2002年|629-630|共2页
会议地点太原
作者
李戈扬; 张俊秋; 韩增虎; 张惠娟;
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作者单位

中国物理学会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类特种结构材料;薄膜物理学;
关键词
CrN,x薄膜; 相结构; 金属涂层; 电镜观察; 力学性能; 氮分压;

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