多孔SiO2绝热膜与复合热释电薄膜红外探测器

摘要

热绝缘层和过渡层在热释电薄膜红外探测器中起着重要的作用.采用溶胶-凝胶法成功地制备了多孔SiO2绝热膜和致密SiO2过渡膜,多孔SiO2绝热膜和致密SiO2过渡膜孔率分别是50％和6％,多孔SiO2膜的均方根表面粗糙度约为20nm,SiO2过渡膜的均方根表面粗糙度小于1.5nm.在SiO2绝热膜上制备约0.3 μm的SiO2过渡膜后,其表面粗糙度小于5 nm,这种平坦均匀的表面满足了在其上制备电极和铁电薄膜的要求,实现了复合热释电薄膜的设计结构,制备的复合热释电薄膜红外探测器的标志性指标星探测率达9.3×107 cm.Hz1/2W,接近了1×108 cm.Hz1/2W的实用化水平.