微系统与计量技术

摘要

纳米技术受到重视的背景是,利用电子粒子性的现有半导体、集成电路技术将面临集成度和性能的极限.利用电子波动性的纳米技术发展动力主要来源于纳米电子学,核心是发展微机电系统(MEMS)、微技术、微系统(包括微结构、微机球、微加工)技术的发展为计量标准的发展带来新的活力;发展微结构的计量标准又推动微技术、微系统的发展.本文介绍MEMS技术在计量中的部分应用实例,说明两者的互动发展关系.