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振簧法和扭摆法测量薄膜的内耗和弹性模量

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摘要

本文给出了采用扭摆法和振簧法来测量薄膜样品的切变和杨氏模量及内耗的计算公式,并应用这些公式测量出了不同温度下TiN/Ti(C,N)多层膜的切变模量和内耗.

著录项

来源
《中国声学学会2002年全国声学学术会议》|2002年|17-18|共2页
会议地点桂林
作者
方前锋; 李朝升; 李世直; Stan Veprek;
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作者单位

中国声学学会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类特种结构材料;
关键词
薄膜材料; 内耗; 弹性模量; 振簧法; 扭摆法;

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