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微机械加工技术

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阐述了MEMS系统的几种重要的微机械加工技术,体硅微机械加工技术、表面微机械加工技术、LIGA技术、微机械封装技术,并分析了它们的工艺特点.文中对微机械表征和测试技术也做了相应的描述.针对工艺和设计相互关系问题,本文也谈了自己的看法.

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来源
《2003年惯性仪表与元件学术交流会》|2003年|179-183|共5页
会议地点辽宁丹东
作者
孙洪强; 邱飞燕;
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作者单位

中国惯性技术学会;

中国宇航学会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类晶体机械加工;
关键词
微机械加工技术; 测试和表征; 结构设计和工艺;

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