公开/公告号JP3533180B2
专利类型
公开/公告日2004-05-31
原文格式PDF
申请/专利权人 インフィネオン テクノロジース アクチエンゲゼルシャフト;
申请/专利号JP20000567924
发明设计人 ロベルト アイグナー;クリストファー ヒーロルト;ヘルゲン カペルス;シュテファン コルプ;ディーター マイアー-シュナイダー;クラウス-ギュンター オッパーマン;ハンス-イェルク ティンメ;トーマス シャイター;ヴォルフガング ヴェルナー;
申请日1999-08-27
分类号G01L9/12;B81B3/00;B81C3/00;G01P15/125;H01L29/84;
国家 JP
入库时间 2022-08-21 23:24:43