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退火制度对PZT铁电薄膜性能的影响

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铁电薄膜的性质对于硅基MEMS器件有重要的影响,鉴于此本文尝试通过改善退火工艺以提高PZT薄膜的铁电和压电性质.采用溶胶凝胶法,在Si/SiO<,2>/Ti/Pt衬底上制备了PZT铁电薄膜.实验中,采用一次退火工艺和每层退火工艺制备了两种PZT薄膜,采用XRD对薄膜的晶体结构进行分析,通过C-V和I-V特性的研究发现,每层退火工艺有助于提高PZT薄膜的C-V性质,并降低漏导电流.

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来源
《第七届"测量与控制在资源节约、环境保护中的应用"学术会议》|2003年|309-310|共2页
会议地点沈阳
作者
张宁欣; 侯生根; 任天令; 刘理天;
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作者单位

中国仪器仪表学会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类薄膜技术;
关键词
溶胶凝胶; 漏导电流; 铁电薄膜; 退火工艺;

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