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蒙特卡洛模拟方法在扫描电子显微学中的应用

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本文研究在扫描电子显微学中,借助蒙特卡洛模拟方法,可以从理论上系统地研究二次电子和背散射电子的信号产生和发射过程,从而理解各种衬度的物理机制.

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来源
《第二届全国扫描电子显微学会议》|2003年|512-513|共2页
会议地点珠海
作者
丁泽军; 李会民;
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作者单位

中国物理学会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类近似计算;电子光学仪器;
关键词
蒙特卡洛模拟; 扫描电镜; 电子散射轨迹; 二次电子;
入库时间 2022-08-17 11:08:13

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