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大型离子束刻蚀机工作台扫描基准和台面热载的有限元分析

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本文介绍了用有限元法分析计算大型离子束刻蚀机的工作台扫描基准(真空室)的形变和工作台面的热载及受热形变,选择了合理的设计方案和补偿措施.

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来源
《第十二届全国电子束、离子束和光子束学术年会》|2003年|195-198|共4页
会议地点北京
作者
高飞; 董晓浩; 黄志刚; 赵飞云; 徐朝银;
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作者单位

中国电子学会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类光刻、掩膜;
关键词
离子束刻蚀机; 有限元法; 结构应力; 热应力;

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