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蓝宝石晶体加载谐振腔测量微波表面电阻

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本文对圆波导谐振腔和加载介质谐振腔进行了详细分析,提出了利用蓝宝石加载谐振腔测量微波表面电阻的一种新方法.由三个不同直径、相同高度的蓝宝石构成三个谐振器,对同一组铜膜进行测量,根据金属表面电阻与频率的关系,确定测试装置的损耗,从而更精确地测出铜膜的表面电阻.

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来源
《第十三届全国半导体集成电路、硅材料学术会》|2003年|111-113|共3页
会议地点深圳
作者
步云英; 于秉华; 张旭; 冯洪辉; 阎少林;
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作者单位

中国电子学会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类 TN304.18;
关键词
蓝宝石晶体; 表面电阻; 圆波导谐振腔; 加载介质谐振腔;

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